公开/公告号CN107004631A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-01
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN201480083605.X
申请日2014-12-24
分类号H01L21/762(20060101);H01L21/336(20060101);H01L29/78(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人林金朝;王英
地址 美国加利福尼亚
入库时间 2023-06-19 02:55:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/762 申请日:20141224
实质审查的生效
2017-08-01
公开
公开
机译: INGAAS EPI结构和湿法蚀刻工艺,可在艺术风潮中启用III-V GAA
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