制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法

摘要

本发明公开了一种制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法，先提供一暂时基座，该暂时基座包含一具有一平面的刚性模板以及一设置于该刚性模板的该平面上的黏着层；将复数大钻石研磨颗粒布植于该黏着层，令该大钻石研磨颗粒具有的一研磨端插入该黏着层而抵触该平面，该大钻石研磨颗粒具有一不小于300微米的粒径；然后，移除该刚性模板，并透过一高分子结合剂与一研磨基座结合而得到一修整工具。