公开/公告号CN106816364A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 爱思开海力士有限公司;
申请/专利号CN201610320441.9
发明设计人 金睹涓;
申请日2016-05-16
分类号H01L21/027(20060101);G03F7/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11363 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李少丹;许伟群
地址 韩国京畿道
入库时间 2023-06-19 02:28:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20160516
实质审查的生效
2017-06-09
公开
公开
机译: 包括线部分和焊盘部分的精细图案的形成方法
机译: 形成包括焊盘部分和线部分的精细图案的方法
机译: 形成精细图形的方法,包括焊盘部分和线条部分