形成包括焊盘部分和线部分的精细图案的方法

摘要

一种形成精细图案的方法包括在基层上形成间隔物。间隔物包括间隔物块、设置为面对间隔物块的第一开口区域以及从间隔物块延伸到第一开口区域的第一线。间隔件形成在间隔物的侧壁上，以限定与第一开口区域重叠的第二开口区域，并且包括在第一线的侧壁上的第二线。可以去除间隔物，以打开被间隔物块占用的第三开口区域和第二线之间的间隔。目标图案形成为包括填充第二线之间的间隔的第三线、填充第二开口区域的第一焊盘块以及填充第三开口区域的第二焊盘块。将第一和第二焊盘块中的每一个分离成多个焊盘。