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一种具有部分P型GaN帽层的AlGaN/GaN异质结场效应晶体管

摘要

本发明公开了一种具有部分P型GaN帽层的AlGaN/GaN异质结场效应晶体管。该晶体管结构是在晶体管栅极边缘引入P型GaN帽层,该P型GaN帽层会降低该区域导电沟道的二维电子气浓度,实现电场调制效应。通过产生新的电场峰,降低了栅边缘的高电场,使晶体管表面的电场分布更加均匀。与传统结构相比,本发明在击穿电压和可靠性方面有了明显的提高与改善。

著录项

  • 公开/公告号CN106783961A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-05-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安电子科技大学;

    申请/专利号CN201710021097.8

  • 申请日2017-01-11

  • 分类号H01L29/06;H01L29/778;

  • 代理机构西安智邦专利商标代理有限公司;

  • 代理人胡乐

  • 地址 710071 陕西省西安市太白南路2号

  • 入库时间 2023-06-19 02:20:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/06 申请日:20170111

    实质审查的生效

  • 2017-05-31

    公开

    公开

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