用于电子束(EBEAM)直接写入系统的圆角化校正

摘要

描述了适合于互补型电子束光刻(CEBL)的光刻装置和涉及互补型电子束光刻(CEBL)的方法。在示例中，用于电子束工具的阻断器孔阵列(BAA)包括沿着第一方向的第一列开口，第一列开口中的每一个开口具有卷边角。BAA还包括沿着第一方向并与第一列开口交错的第二列开口，第二列开口中的每一个开口具有卷边角。第一列开口和第二列开口一起形成在第一方向上具有节距的阵列。BAA的扫描方向沿着第二方向，第二方向正交于第一方向。阵列的节距对应于针对与第二方向平行的取向而言的线的目标图案的最小节距布局的一半。