一种用于PECVD设备中加热盘的测温工装

摘要

一种用于PECVD设备中加热盘的测温工装，包括测温头，基板和固定件。基板平行置于沉积加热盘的上表面上，测温头通过固定件固定在基板的圆孔内。测温头通过数据线与测温仪器连接。本发明不会引起对加热盘及设备的表层及亚表层损伤；本发明采用表面多点测量的方式，可按需求对加热盘中各点的温度选择性测试，增加了测试的数据全面性和灵活性。本发明采用较厚的基板，避免了传统较薄基板在高温下易发生翘曲导致测试结果不准确的影响。本发明结构简单，容易加工，且易于在加热盘中测试使用。