用于对微观结构进行图案化的方法

摘要

本发明涉及用于对微观结构的一个或多个部分进行图案化的方法，该微观结构包括挠性基板、设置在基板上的导体和设置在导体上的金属层，其中导体包括第一透明导电氧化物(TCO)层和第二透明导电氧化物(TCO)层以及夹在两个TCO层之间的金属掺杂的氧化硅层的叠层。