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赖志远; 仇凯弘; 侯想; 张江涛; 胡中伟;
华侨大学制造工程研究院 福建 厦门;
福建中晶科技有限公司 福建 龙岩;
图案化蓝宝石衬底; 氮化镓; 掩膜; 刻蚀;
机译:在c面蓝宝石衬底上使用自组装网状Pt薄膜制作纳米腔图案化蓝宝石衬底
机译:高性能基于GaN的发光二极管的蓝宝石衬底处理:蓝宝石衬底的微图案化及其对基于GaN的发光二极管中光增强的影响
机译:通过激光干涉光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火来制备纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:用金属有机化学气相沉积在图案化蓝宝石衬底上的绿色发光二极管的in_xga_(1-x)n / gaN多量子阱结构的制造
机译:氮化镓在具有蛇形通道的图案化蓝宝石衬底上异质外延生长。
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理,大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:图案化蓝宝石衬底上的氮化镓发光体,可提高缺陷率和光提取效率
机译:选择性地蚀刻图案化的蓝宝石衬底的表面的方法和图案化的蓝宝石衬底以重复使用
机译:图案化的蓝宝石衬底及其制造方法和使用该蓝宝石衬底的氮化物半导体发光元件
机译:图案化的蓝宝石衬底掩模的图案结构和曝光方法
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