法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/677 申请公布日:20161123 申请日:20140402
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20140402
实质审查的生效
2016-11-23
公开
公开
机译: 用于基板处理的系统,用于基板处理的系统的真空旋转模块以及用于操作基板处理系统的方法
机译: 基板处理系统,用于基板处理系统的控制器和基板处理系统的操作方法
机译: 基板处理系统,用于真空处理系统的基板室,以及冷却基板的方法