一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法

摘要

一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法，涉及光谱识别领域。本发明是为了解决现有的采用Hg灯对8nm～20nm范围内的线状谱进行标定，谱线的标定准确性差，导致对光谱的识别性差的问题。本发明第一步采用真空紫外阴极灯对罗兰圆谱仪进行初步标定，工作气体为He气；第二步采用He气和Ar气介质毛细管放电机制工作，通过He气和Ar气的线状谱对罗兰圆谱仪进行精确地标定。它用于对光谱进行标定。