Xe介质毛细管放电等离子体极紫外辐射光谱测量及分析

摘要

测量了Xe介质毛细管放电极紫外光刻光源10nm-70nm范围内辐射光谱，并分析其来源。10nm-20nm 范围内Xe光谱来源于Xe7+-Xe12+离子的4p-4d,4d-4f和4d-5p跃迁产生，20nm-70nm范围内Xe光谱来源于Xe6+-Xe8+离子跃迁，但强度较弱。通过与理论计算结合证实Xe6+-Xe8+离子谱线来源于等离子体压缩坍塌后。输入单脉冲能量49J条件下获得了2π立体角2%带宽范围内13.5nm和11.0nm辐射光0.16J和0.26J单脉冲能量输出，转换效率为0.42%和0.67%。