放电等离子体极紫外光谱测量及分析
MEASURE AND ANALYSIS OF DISCHARGE PRODUCED PLASMA EUV SPECTRUM
摘要
Abstract
第1章 绪论
1.1 课题研究背景及意义
1.2 传统光学光刻技术
1. 3极紫外光刻技术
1.4 极紫外光刻技术研究现状
1.5 课题研究的内容
第2章 毛细管放电Z箍缩基本理论
2.1 引言
2.2 毛细管放电Z箍缩效应
2.3 等离子体的辐射过程
2.4 重要参数的计算
2.5 本章小结
第3章 毛细管放电EUV光源装置介绍及测试
3.1 引言
3.2 装置介绍及使用说明
3.3 实验装置测试
3.4 罗兰圆谱仪的标定
3.5 本章小结
第4章 放电光谱测量及分析
4.1 引言
4.2 氩气放电光谱测量及分析
4.3 氮气放电光谱测量及分析
4.4 氦气放电光谱测量及分析
4.5 本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明
致谢