放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜直接车削方法

摘要

放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜直接车削方法，涉及光学及精密加工领域，为了解决现有对收集镜进行加工的方法，加工工艺要求非常高，增加了加工成本的问题。该方法为：毛坯成型，粗车加工，预车加工，镀镍磷合金层，精车加工，人工抛光处理，面型检测，车削边沿，完成收集镜的制作。本发明采用直接车削的方法，加工时间短，大幅度的降低了成本，适用于车削加工放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜。