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一种基板破损检测方法

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摘要

本发明公开了一种基板破损检测方法，其在与基板四角对应的位置分别设有一个传感器。本发明能够检测基板四角的破损，避免四角破损的基板进入生产线。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-03

发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G01N21/95 申请公布日:20161116 申请日:20160615

发明专利申请公布后的撤回
2018-04-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/95 申请日:20160615

实质审查的生效
2016-11-16

公开

公开

1. 一种基板破损检测方法 [P] . 中国专利： CN106124523A . 2016-11-16
2. 一种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒 [P] . 中国专利： CN102651329A . 2012-08-29
3. SUBSTRATE DAMAGE DETECTION DEVICE, SUBSTRATE TRANSFER ROBOT WITH SUBSTRATE DAMAGE DETECTION DEVICE, AND SUBSTRATE DAMAGE DETECTION METHOD [P] . 美国专利： US2015253258A1 . 2015-09-10

机译：基板破损检测装置，具有基板破损检测装置的基板破损机器人以及基板破损检测方法
4. Substrate damage detection apparatus, substrate transfer robot equipped with the substrate damage detection apparatus, and substrate damage detection method [P] . 日本专利： JP6377918B2 . 2018-08-22

机译：基板破损检测装置，具备该基板破损检测装置的基板搬运机械手以及基板破损检测方法
5. Substrate damage detection device, substrate transfer robot with substrate damage detection device, and substrate damage detection method [P] . 美国专利： US9390953B2 . 2016-07-12

机译：基板破损检测装置，具有基板破损检测装置的基板搬运机械手以及基板破损检测方法