基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法

摘要

本发明涉及一种基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法，其对应基底部分干涉信号零光程差位置提取过程转换为通过广义相关时延估计方法来求取不同像素间的干涉信号相对位移问题，从而可以精确的求出基底部分三维形貌信息。另外，还可利用本发明的测量方法获得待测镀膜器件的表面薄膜厚度。本发明提出的方法计算精度高，抗噪声性能强，无需标定光源的中心波长，并且对白光干涉信号的包络形状无要求，实施十分方便。