一种异质结阵列基紫外探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种异质结阵列基紫外探测器及其制备方法，所述探测器包括基底、导电薄膜，所述的导电薄膜上有作为紫外光吸收层的Sm2O3@ZnO异质结阵列和至少一个N型欧姆电极，所述的Sm2O3@ZnO异质结阵列上有至少一个P型欧姆电极；所述的Sm2O3@ZnO异质结阵列为ZnO纳米管阵列和填充于ZnO纳米管内的Sm2O3纳米线构成。由于本发明的核心结构为由ZnO纳米管阵列和贯穿ZnO纳米管的Sm2O3纳米线构成的异质结阵列，可以充分提高光生载流子的利用率，具有外量子效率和灵敏度高、体积小巧等诸多优点。