公开/公告号CN105951175A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 上海超硅半导体有限公司;
申请/专利号CN201610364026.3
申请日2016-05-30
分类号
代理机构
代理人
地址 201604 上海市松江区石湖荡镇养石路88号
入库时间 2023-06-19 00:31:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B15/16 申请公布日:20160921 申请日:20160530
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-10-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/16 申请日:20160530
实质审查的生效
2016-09-21
公开
公开
机译: 硅样品预处理的方法,评价硅样品的金属污染的方法,用于评估单晶硅锭生长过程的方法,生产单晶硅锭的方法及制造硅晶片的方法
机译: 粘合硅胶零件的方法,一个坩埚,一个单晶硅生长系统和一个单晶硅生长方法
机译: 粘合硅胶零件的方法,一个坩埚,一个单晶硅生长系统和一个单晶硅生长方法