一种压电振动陀螺仪谐振子、其制作方法及压电振动陀螺

摘要

本发明属于惯性导航器件领域，具体涉及一种压电振动陀螺仪谐振子、其制作方法及镀制BFO薄膜作为驱动与检测电极的压电振动陀螺仪。本发明的目的是针对当前压电振动陀螺仪压电电极材料以及粘胶的使用对陀螺仪的Q值造成抑制，降低陀螺仪Q值、精度及灵敏度等问题，利用生长在LAO单晶材料上的具有单轴各向异性的BFO薄膜的强压电特性以及镀制薄膜材料可以避免固定压电电极时粘胶的使用，制作出一种镀制BFO薄膜作为驱动与检测电极的压电振动陀螺仪，将镀制BFO薄膜降低压电电极对陀螺仪品质因数抑制、BFO薄膜的压电灵敏度较高和避免使用粘胶对压电电极进行固定导致Q值降低等优势相结合，实现陀螺仪Q值提高、灵敏度提高、精度提高。