圧電振動ジャイロセンサの振動結合－有限要素法を用いた解析評価の一手法

摘要

圧電形振動ジャイロセンサの小形化に伴い漏れ振動に関する評価は重要であるが、温特を始め細部構造等の影響など検討要因は多岐にわたる。FEM解析を用いて電極の開放短絡条件で得られる固有周波数を用いて漏れ状態を簡易評価する手法について紹介する。