利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装置及其工作方法

摘要

本发明公开一种利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装置及其工作方法，超声装置包括振动传递部件及设置于振动传递部件上的压电元件和微切割刀具，该超声装置利用超声换能器产生线性振动，通过振动传递部件驱动微切割刀具对加工工件表面进行微纳沟道的可控刻蚀。在进行受控刻蚀时，该装置对被加工工件表面的导电性没有要求，在刻蚀过程中无需模板，通过配合三维移动平台，对刻蚀路径的规划即可实现，适合于进行柔性制造,小批量生产，针对个性化定制。该基于线性振动的纳米切割方法利用水分子固定被切割物体。另外，由于采用压电材料励振和无旋转部件，本发明具有小型化、易清洁、结构简单、设备投资较少和可靠性好等优点。