扫描电镜中透射电子菊池衍射装置及分析方法

摘要

本发明提供了一种扫描电镜中透射电子菊池衍射装置及分析方法，该装置包括：用于对样品照射电子束的电子束照射单元；位于所述电子束照射单元下方的背散射电子衍射探测器和样品台；所述样品台配置为使载置于其上的所述样品与水平面之间形成倾斜角；所述探测器具备配置为采集并接收所述样品发出的透射电子信号的磷屏。本发明能够获得清晰的透射电子菊池衍射图谱，实现对纳米尺度晶粒的相鉴定及相比例计算、纳米尺度织构及取向差分析，晶粒尺寸及形状的分析，晶界、亚晶及孪晶性质的分析等。