透射电镜纳米束电子衍射在纳米结构中的应用

摘要

透射电子显微镜(TEM)除了熟知的高分辨分析外,还具备纳米束电子衍射(NBD)功能,可对尺寸很小的在几纳米至几十纳米的颗粒进行对应的晶体结构、 物相分析,这对于材料中细小析出相分析等具有重大意义.以50nm左右的碳包覆铁颗粒为对象,对纳米束电子衍射测试原理、 步骤、 测试过程中相机常数、 聚光镜光阑等参数选择的影响进行了详细的说明.这一方法解决了超细小颗粒、 区域衍射分析困难的问题,为高校充分利用TEM测试微小区域晶体结构提供了具体的实验指导.