• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> Al-Ge共晶键合预处理方法及键合方法

Al-Ge共晶键合预处理方法及键合方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明提供一种Al-Ge共晶键合预处理方法及键合方法，所述预处理方法包括如下步骤：提供一表面具有锗顶层的第一衬底及一表面具有铝顶层的第二衬底；充入化学性质不活泼的气体，排除空气，防止所述锗顶层及铝顶层被氧化。本发明的优点在于，没有采用还原性气体去除铝及锗表面的氧化层，而是采用化学性质不活泼的气体排除空气，防止铝及锗氧化。在预键合及键合过程中只存在非活泼性气体（如N

著录项

  • 公开/公告号CN105197872A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-12-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海矽睿科技有限公司;

    申请/专利号CN201410231382.9

  • 发明设计人 顾佳烨;王宇翔;

    申请日2014-05-29

  • 分类号

  • 代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人孙佳胤

  • 地址 201815 上海市嘉定区兴贤路1368号3幢3157室

  • 入库时间 2023-12-18 13:14:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-08

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B81C1/00 申请公布日:20151230 申请日:20140529

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-06-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20140529

    实质审查的生效

  • 2015-12-30

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号