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EUTECTIC DIE BONDING APPARATUS, SYSTEM AND BONDING EUTECTIC PERFORM METHOD USING THEREOF

机译:共晶模具键合装置,系统及使用其的键合共晶性能方法

摘要

eutectic die adhesive device, discloses a system and a eutectic bonding process is carried out using the same method. The eutectic die-adhesive system comprising a substrate inside a closed chamber; Is provided in the hermetic chamber, LED die eutectic layer is formed on the back; Inductively-coupled with the heating device, the LED die to generate a magnetic field on the back of heating the eutectic layer over an eddy current on the LED die rear eutectic die adhesive devices; The hermetic chamber, comprising jeeobueul for controlling the operation of the LED die and eutectic die-adhesive device, the adhesive device is a eutectic eutectic die die collet high-frequency oscillator is coupled; Eutectic die collet first insulating film formed on the outer surface; Gene induction coil wound around the circumference of the first insulating film; A second insulating film formed on the first insulating layer around the said induction coil is wound; The eutectic die and includes a thermocouple (thermocouple) sensor formed on the second insulating film in the same longitudinal direction and the collet. ;
机译:共晶模具粘合装置,公开了一种系统,并使用相同的方法进行共晶粘合过程。该共晶模-粘合剂系统包括在密闭室内的基板;设置在密闭室中,在背面形成LED晶粒共晶层; LED管芯与加热装置电感耦合,以在LED管芯后部共晶管芯粘合装置上的涡流上在加热共晶层的背面产生磁场;所述密闭腔室,包括用于控制所述LED裸片和共晶裸片粘合装置的操作的jeeobueul,所述粘合装置是由共晶裸片的筒夹高频振荡器耦合而成的;共晶模具夹头的第一绝缘膜形成在外表面上;基因感应线圈缠绕在第一绝缘膜的周围。缠绕在所述感应线圈周围的第一绝缘层上形成的第二绝缘膜;共晶模具包括沿相同的纵向方向形成在第二绝缘膜和夹头上的热电偶(热电偶)传感器。 ;

著录项

  • 公开/公告号KR101299241B1

    专利类型

  • 公开/公告日2013-08-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20120009666

  • 发明设计人 오범환;이동진;

    申请日2012-01-31

  • 分类号H01L21/58;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 16:24:37

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