法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-07
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20151125 申请日:20140425
发明专利申请公布后的驳回
2015-12-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20140425
实质审查的生效
2015-11-25
公开
公开
机译: 磁控溅射系统,例如用于CD或DVD的制造,具有磁性装置,用于在靶标前方移动或散布等离子体环
机译: 磁控溅射腔上的分裂磁环
机译: 磁控溅射室中的裂环磁体