机译:从调制脉冲功率磁控溅射(MPPMS)到深振荡磁控溅射(DOMS)的延迟放电桥接两种溅射模式
机译:在深振荡磁控溅射(DOMS)模式下峰值目标功率对HiPIMS溅射Cr薄膜性能的影响
机译:通过深振荡磁控溅射和脉冲直流磁控溅射相结合沉积的硬而韧的CrN / Si_3N_4多层涂层
机译:无弧深振荡磁控溅射与脉冲直流磁控溅射相结合沉积的CrN / TiN超晶格涂层的力学和摩擦学性能
机译:使用反射型飞行质谱仪的深振动磁控溅射(DOMS)的离子组成分析
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:低温下大功率脉冲磁控溅射在铀上沉积的TiN膜
机译:功率脉冲参数对调制脉冲功率磁控溅射AlCrN涂层组织和性能的影响