CIGS基薄膜太阳能电池的制备方法及制备装置

摘要

本发明提供了一种CIGS基薄膜太阳能电池的制备方法及制备装置。本发明是在一个真空腔体中采用双靶溅射沉积CIGS基薄膜太阳能电池的光吸收层，在溅射过程中，1号靶的等离子体烧蚀区域朝向基板方向，2号靶的等离子体烧蚀区域朝向1号靶的表面，这样2号靶的材料就先沉积到1号靶上，然后再和1号靶的材料一起沉积到基板上，此种光吸收层的制备方法使沉积的膜层的组分更加均匀。