阻尼弹片式刚度频率可调宏微一体化复合平台

摘要

本发明提出阻尼弹片式刚度频率可调宏微一体化复合平台，当宏微动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可以实现高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用，同时在弹片上附设阻尼材料，使微动平台具有一定的阻尼，能够传递宏动平台的运动但阻隔振动，使微动平台在共振点也不会产生无穷的振幅，可在任意频带上工作，通过运动偏差测量、微平台动态特性匹配和振动偏差高频精密补偿，实现阻尼弹片式刚度频率可调宏微一体化复合平台在任意频率点上高速高精度运动。