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一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法

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摘要

本发明涉及一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法，采用化学气相沉积与高温处理相结合的工艺方法在炭/炭复合材料盖板的外表面制备出致密、结合力强的SiC涂层，降低多晶硅铸锭的碳含量、延长盖板的使用寿命，尤其适用于多晶硅铸锭炉用盖板的开发和应用。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-08-03

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B28/06 申请公布日:20150812 申请日:20150529

发明专利申请公布后的驳回
2015-09-09

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B28/06 申请日:20150529

实质审查的生效
2015-08-12

公开

公开

1. 一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法 [P] . 中国专利： CN104831351A . 2015-08-12
2. 一种多晶硅铸锭炉的活动坩埚盖板 [P] . 中国专利： CN204097597U . 2015.01.14
3. Method and device making it possible to ensure the continuity of the ventilation of a coating condensation-inhibiting of a cover plate at the level of its bearing surfaces on a support. [P] . 法国专利： FR2936825B1 . 2016-07-01

机译：使得能够在盖板在支撑件上的支承表面的水平处确保抑制盖板的涂层凝结的通风的连续性的方法和装置。
4. A METHOD OF PRODUCING DOORS OR OTHER PANEL ELEMENTS HAVING A RELIEF SURFACE, NOTABLY IMITATED PANELLED DOORS, AND A METHOD OF PRODUCING A COVER PLATE MEMBER THEREFOR [P] . 欧洲知识产权局专利： EP0243423B1 . 1991-01-16

机译：一种制造带有浮雕表面的门或其他面板元件的方法，包括未仿制的镜面门，以及一种制造覆盖板成员的方法
5. A METHOD OF PRODUCING DOORS OR OTHER PANEL ELEMENTS HAVING A RELIEF SURFACE, NOTABLY IMITATED PANELLED DOORS, AND A METHOD OF PRODUCING A COVER PLATE MEMBER THEREFOR [P] . 世界知识产权组织专利： WO8702407A1 . 1987-04-23

机译：一种制造带有救济表面的门或其他面板元件的方法，包括未仿制的带锥度的门，以及一种为其制造覆盖板成员的方法