一种多晶硅铸锭炉的活动坩埚盖板

摘要

一种多晶硅铸锭炉的活动坩埚盖板，包括坩埚盖板本体（4）、固定套管（1），还设有活动套管（2），所述活动套管（2）置于固定套管（1）中，活动套管（2）下端设有下螺母（5），活动套管（2）穿过坩埚盖板本体（4）中心孔置于下螺母（5）上，坩埚盖板本体（4）可以随活动套管（2）轴向上下运动。使用本实用新型，工作时，可以降低坩埚盖板本体（4）与硅熔体（10）的距离（11），压缩石英坩埚（6）内的空间，提高进气气体的吹扫能力，从而有效地降低硅熔体（10）内的碳、氧含量，进而提高多晶硅晶体质量。