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新型坩埚盖板设计下多晶硅铸锭中杂质的控制

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本文以GTS-DSS450多晶硅铸锭定向凝固炉为研究对象,设计了一种新型的倒U型坩埚盖板.针对传统平直盖板及新型倒U型盖板的情况,耦合求解了炉腔氛围气中的Si0气体、CO气体及熔体中的氧、碳杂质的输运过程,完整展现了不同盖板结构下制备系统内各主要杂质的浓度分布情况.通过模拟研究发现,新型盖板结构对于氛围气中的Si0浓度及熔体中氧浓度影响不大,但熔体表面上方CO浓度及硅熔体中碳浓度能够显著降低.

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来源
《第13届中国光伏大会》|2013年|218-225|共8页
会议地点北京
作者
杨阳; 李早阳; 刘立军; 张运峰; 熊景峰;
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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12:TN304.05;
关键词
多晶硅; 铸锭工艺; 坩埚盖板; 产品质量;

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