抵消硅穿孔所引发基板应力的结构及方法

摘要

本发明提抵消硅穿孔所引发基板应力的结构及方法，其结构及制造方法用以减低或抵消在邻近基板穿孔的该结构的基板内的应力。该制造方法包括：形成具有基板穿孔(TSV)的结构，邻近该基板穿孔具有减少的装置排除区域(KOZ)，该形成包括：在该结构的基板内设置该基板穿孔，以及在该基板上设置被选择并配置成提供所需的补偿应力的应力补偿(offset)层，以减低由于在该基板内存在有基板穿孔所引起的在该基板中的应力。于一实施例中，该应力补偿层提供所需的压缩应力，足以减少或抵消由于在该基板内存在有基板穿孔所引起的在该基板中的拉伸应力。