用于室温的多孔硅基氧化钨复合结构气敏元件的制备方法

摘要

本发明结合有序多孔硅可室温检测氮氧化物的优势，公开了一种结构新颖、制作工艺简单的用于室温的多孔硅基氧化钨复合结构气敏元件的制备方法，采用水热法将有序多孔硅与一维氧化钨纳米结构复合形成新的复合结构气敏材料，其具有巨大的比表面积和较大的表面活性，可提供大量的吸附位置和扩散通道，从而克服了基于一维氧化钨纳米结构气敏材料工作温度较高的缺陷，制备出一种可在室温条件下有效检测氮氧化物的多孔硅基氧化钨复合结构气敏传感器元件。