用于室温的多孔硅基氧化铜复合结构气敏元件的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于室温的多孔硅基氧化铜复合结构气敏元件的制备方法，采用磁控溅射的方法将有序多孔硅与氧化铜薄膜结构复合形成新的复合结构气敏材料，制备出一种可以在室温条件下有效检测氮氧化物的多孔硅基氧化铜复合结构的气敏传感元件。本发明方法所制得的气敏材料具有巨大的比表面积与较大的表面活性，可以提供大量的吸附位置和扩散通道，实现室温下对低浓度的氮氧化物的检测。该方法具有设备简单、操作方便、可重复性好、成本低廉等优点，具有重要的实践意义和研究意义。