法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/513 申请公布日:20150429 申请日:20141224
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/513 申请日:20141224
实质审查的生效
2015-04-29
公开
公开
机译: 用于制造例如不锈钢的牙科钻的方法。安装牙冠,包括通过物理气相沉积和/或化学气相沉积和/或等离子体辅助化学气相沉积将金属层沉积在钻头上
机译: 在溅射设备的等离子体室中在基板上进行物理气相沉积(PVD)和等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)处理的方法,涉及在基板上获得所需的层厚
机译: 用于微波等离子体辅助化学气相沉积反应器的方法和设备