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王亮; 向晓静;
季华科技有限公司 广东 佛山 528000;
广东众元半导体科技有限公司 广东 佛山 528251;
MOCVD; 自感知; 自诊断; 自适应;
机译:金属有机物在6H–SiC化学气相沉积中的一种新掺杂方法
机译:(D001)智能化设备异常诊断使用自适应区域感测方法 - 研究组和前景
机译:化学气相沉积生长的单层WSe2中可逆的半导体到金属的相变及其在设备中的应用
机译:金属有机物化学气相沉积YBA / Sub 2 / Cu / Sub 3 / O / Sub 7-X /使用特殊的固体前体设备
机译:分子电子设备的理论研究:金属/半导体界面,原子尺度导线的电容以及金刚石表面上的有机物。
机译:活性有机物质沉积物微壁垒中氧和微量金属动力学的介观研究
机译:用于超导薄膜的金属有机化学气相沉积(mOCVD)的新工艺和设备设计
机译:评估吸收光谱监测YBa {sub 2} Cu {sub 3} O {sub 7 {minus} x}金属有机物化学气相沉积处理的前驱物
机译:金属有机化学气相沉积设备和使用该设备的金属有机化学气相沉积方法
机译:制备有机物的复杂方法和使用相同方法制备金属有机化学气相沉积的方法
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