公开/公告号CN102840833A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-12-26
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山允可精密工业技术有限公司;
申请/专利号CN201210335399.X
发明设计人 赵春花;
申请日2012-09-12
分类号G01B11/06;
代理机构北京市振邦律师事务所;
代理人李朝辉
地址 215333 江苏省苏州市昆山市开发区蓬朗郭泽路南、六时泾路西侧
入库时间 2023-12-18 07:51:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-03
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B11/06 申请公布日:20121226 申请日:20120912
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-07-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/06 申请日:20120912
实质审查的生效
2012-12-26
公开
公开
机译: 非接触方式多层厚度直接测量晶圆厚度的测量方法和装置
机译: 晶圆厚度变化测量方法及装置
机译: 晶圆厚度变化的测量方法和装置