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修复具有漏电流问题的半导体结构的方法

摘要

本发明公开了一种修复具有漏电流问题的半导体结构的方法。此方法包括借由施加来自电性测试装置的测试电压而发现一半导体结构具有漏电流问题,以及,对此半导体结构施加一强制电压以使位于二个导电元件间的一悬丝或悬桥熔融或氧化。

著录项

  • 公开/公告号CN102779779A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-11-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南亚科技股份有限公司;

    申请/专利号CN201110208950.X

  • 发明设计人 谢明灯;陈逸男;刘献文;

    申请日2011-07-25

  • 分类号H01L21/768;

  • 代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司;

  • 代理人江耀纯

  • 地址 中国台湾桃园县

  • 入库时间 2023-12-18 07:16:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-10-29

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/768 申请公布日:20121114 申请日:20110725

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-01-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20110725

    实质审查的生效

  • 2012-11-14

    公开

    公开

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