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由重定向的碳纳米管制得的互连结构

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摘要

本发明涉及电子装置，包含在至少两个独立的方向上延伸的电连接，所述连接基本上使用碳纳米管(CNT)束(8)制得，其中至少两个CNT束包含沿着第一方向定向其轴的部分(8a)和沿着第二方向重定向其轴的部分(8b)；通过搭接所述至少两个束的部分(8b)提供所述两个CNT束之间的连接，以形成连接线路(4)。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-06-10

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/768 申请公布日:20121010 申请日:20101217

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-16

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20101217

实质审查的生效
2012-10-10

公开

公开

1. 由重定向的碳纳米管制得的互连结构 [P] . 中国专利： CN102725839A . 2012-10-10
2. 用于互连的碳纳米管－焊料复合结构、该结构的制作过程、包含该结构的封装件以及包含该结构的系统 [P] . 中国专利： CN101416309A . 2009-04-22
3. Interconnection structure based on carbon nanotubes redirected [P] . ES2531431T3 . 2015-03-16

机译：基于碳纳米管重定向的互连结构
4. Interconnection structure made of redirected carbon nanotubes [P] . 美国专利： US9165825B2 . 2015-10-20

机译：由重定向的碳纳米管制成的互连结构
5. INTERCONNECTION STRUCTURE BASED ON REDIRECTED CARBON NANOTUBES [P] . 法国专利： FR2956243B1 . 2013-10-25

机译：基于重定向碳纳米管的互连结构