首页> 中国专利> 一种用于太阳能电池缓冲层CdS薄膜的电子束制备法

一种用于太阳能电池缓冲层CdS薄膜的电子束制备法

摘要

本发明涉及一种用于太阳能电池缓冲层CdS薄膜的制备方法,在真空条件下,将CdS粉末通电加热后采用升华的方式蒸发沉积到衬底上形成CdS薄膜,具体步骤为:选择玻璃、不锈钢金属箔或硅片作为衬底,将其放入50~100℃含有表面活性剂的水溶液中处理2h后,再放入丙酮中超声5~20min,用去离子水中超声10~30min,氮气吹干;将纯度为99.99%的CdS粉末放入蒸发舟或坩埚内并固定于电子束热蒸发设备上,将反应室抽真空至10

著录项

  • 公开/公告号CN102703860A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-10-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海理工大学;

    申请/专利号CN201210206615.0

  • 申请日2012-06-21

  • 分类号

  • 代理机构上海东创专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人宁芝华

  • 地址 200093 上海市杨浦区军工路516号

  • 入库时间 2023-12-18 06:42:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-06-11

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/06 申请公布日:20121003 申请日:20120621

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2012-11-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20120621

    实质审查的生效

  • 2012-10-03

    公开

    公开

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