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Pt/Ti/SiO2/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法

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本发明提供了一种基于Pt/Ti/SiO2/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法，其中包括：衬底的清洗，薄膜的生长，电极的制备。其特征在于采用湿化学法制备Mn-Co-Ni-O薄膜，选取醋酸锰、醋酸钴、醋酸镍为原料，以冰醋酸作溶剂，分别配制导电类型是n和p的前驱体溶液，然后使用匀胶机和快速退火炉来制备薄膜材料。采用本方法制备的探测器可以实现紫外-可见-红外宽波段探测。

著录项

公开/公告号CN102593242A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-18

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海技术物理研究所;
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申请/专利号CN201210019112.2
发明设计人侯云;黄志明;高艳卿;吴敬;张雷博;周炜;张琰;褚君浩;
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申请日2012-03-22
分类号H01L31/18(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人郭英
地址 200083 上海市虹口区玉田路500号
入库时间 2023-06-18 20:40:02

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-12-10

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20120718 申请日:20120322

发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-19

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20120322

实质审查的生效
2012-07-18

公开

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