Pt／Ti／Si3N4／SiO2／Si基底的多层薄膜制备及拉曼研究

摘要

cqvip:选用三水醋酸铅、乙酰基丙酮酸锆、四异丙氧基钛、乙酰丙酮作初始材料，用同样的方法分别制备了锆钛酸铅（PZT）和钛酸铅（PT）两种固体前驱物．采用改良型的溶胶-凝胶工艺技术，分别在不同的Pt-Ti-Si3N4-SiO2-Si基底上，按照不同的组合方式，制备了三种多层薄膜：PZT、PT／PZT—PZT／PT、PT／PZT／-／PZT／PT．较详细地讨论了薄膜制备的工艺技术，发现当凝胶通过烧结和干燥后变成固态物质时，薄膜内部存在着较大的残余应力，当薄膜在600℃下退火时其内部残余应力可以被减小．通过拉曼衍射和XRD分析，发现PT／PZT—PZT／PT结构的薄膜具有较好的结晶性和较小的残余应力．XRD分析表明，多层混合薄膜的衍射峰是PZT和PT两种薄膜衍射峰的叠加．