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一种基于Pt/Ti/SiO2/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器

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本发明提供了一种基于Pt/Ti/SiO2/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器。其特征在于，其中包括：一Pt/Ti/SiO2/Si衬底；一导电类型为n型的Mn-Co-Ni-O薄膜；一导电类型为p型的Mn-Co-Ni-O薄膜；在导电类型为p型Mn-Co-Ni-O薄膜部分膜面上制作顶电极，同时刻蚀薄膜直到露出部分Pt/Ti/SiO2/Si衬底的表面导电层作为底电极。制备出pn结，产生光生伏特效应，以实现紫外-可见-红外宽波段探测。

著录项

公开/公告号CN102593228A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-18

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海技术物理研究所;
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申请/专利号CN201210019370.0
发明设计人侯云;黄志明;高艳卿;吴敬;张雷博;周炜;张琰;褚君浩;
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申请日2012-04-20
分类号H01L31/068(20120101);H01L31/032(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人郭英
地址 200083 上海市虹口区玉田路500号
入库时间 2023-06-18 20:41:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-12-31

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/068 申请公布日:20120718 申请日:20120420

发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-19

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/068 申请日:20120420

实质审查的生效
2012-07-18

公开

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