圆片级球形微透镜阵列的制备方法

摘要

本发明球形微透镜阵列的模具及其制作方法。其特征在于，包括以下步骤：在硅圆片上分别刻蚀透镜模具微槽阵列和自对准硅模具微槽，透镜模具微槽阵列间刻蚀有微通道相连；放置一定量的热释气剂粉末；将硼硅玻璃圆片与上述硅圆片在真空条件下进行键合；加热，真空负压力使软化后的玻璃填入自对准硅槽内得到自对准玻璃凸块，冷却，退火；去除硅，得到玻璃模具；刻蚀出相应的自对准凹槽和透镜控制间距模具凹槽；对上述玻璃模具和硅模具的表面进行抗粘附处理；在玻璃模具的球形玻璃微腔内填满UV固化胶，使透镜成型硅圆片与玻璃模具自对准；对模具内的UV胶进行固化，经脱模后即可得到圆片级球形微透镜阵列。本发明工艺方法简单、成本低廉、可靠性好。