公开/公告号CN102517556A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-27
原文格式PDF
申请/专利权人 广东志成冠军集团有限公司;
申请/专利号CN201210009984.0
申请日2012-01-13
分类号C23C14/35(20060101);
代理机构11254 北京连城创新知识产权代理有限公司;
代理人刘伍堂
地址 523718 广东省东莞市塘厦镇田心工业区
入库时间 2023-12-18 05:34:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-11
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20120627 申请日:20120113
发明专利申请公布后的驳回
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20120113
实质审查的生效
2012-06-27
公开
公开
机译: 旋转式切刀靶基,旋转式切刀靶,涂层安装,生产旋转式切刀靶的方法,靶基连接装置以及将旋转式靶基设备连接以将安装溅射到靶基支持的方法
机译: 旋转式切刀靶基,旋转式切刀靶,涂层安装,生产旋转式切刀靶的方法,靶基连接装置以及将旋转式靶基设备连接以将安装溅射到靶基支架的方法
机译: 旋转式切刀靶基,旋转式切刀靶,涂层安装,生产旋转式切刀靶的方法,靶基连接装置以及将旋转式靶基设备连接以将安装溅射到靶基支架的方法