双靶磁控溅射镀膜机及镀膜工艺

摘要

介绍了双靶磁探溅射镀膜机的结构、工作原理、主要功能同时还简述了非反应与反应溅射相结合的工艺技术，制备了渐米Ａｌ－Ｎ／Ａｌ太阳能选择性吸收涂层以及ＴｉＯ２／Ａｌ反光保护膜层。