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真空镀不导电膜的方法

摘要

本发明提供了一种真空镀不导电膜的方法,包括以下步骤:先提供玻璃基材;再将玻璃基材进行前处理,以使玻璃基材的表面清洁;然后将经前处理的玻璃基材装载在基片架上,由传动系统将基片架输入真空室;在真空室内设有膜料或靶材,加热膜料或轰击靶材,使膜料或靶材沉积在玻璃基材表面形成薄膜,薄膜的厚度:10nm-2000nm,薄膜的电阻大于1MΩ;最后将镀好薄膜的玻璃基材由传动系统输出真空室。其有益效果在于:其一、装饰性强,通过控制薄膜的厚度和薄膜中材质的比例,形成不同的光学干涉,可以制成各种颜色的装饰膜。其二、具有良好的绝缘性,通过控制薄膜的厚度和薄膜中材质的比例,使薄膜的电阻值大于1MΩ,形成良好的绝缘,不影响触摸和遥控信号的传递。

著录项

  • 公开/公告号CN102505110A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-06-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市杰瑞表面技术有限公司;

    申请/专利号CN201110418327.7

  • 发明设计人 熊树林;

    申请日2011-12-14

  • 分类号C23C14/54(20060101);C03C17/09(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 518000 广东省深圳市宝安区沙井同富裕工业园A-6工业区第3幢第一楼东

  • 入库时间 2023-12-18 05:30:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-03-18

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/54 申请公布日:20120620 申请日:20111214

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2012-11-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/54 申请日:20111214

    实质审查的生效

  • 2012-06-20

    公开

    公开

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