通孔填充牺牲材料的超厚顶层金属双大马士革工艺

摘要

本发明通孔填充牺牲材料的超厚顶层金属双大马士革工艺解决了现有技术中无法在不增加工艺步骤、延长工艺周期的前提下达到控制通孔刻蚀高深宽比和通孔尺寸控制的问题，本发明使用在先制作的通孔中填充易于在沟槽刻蚀过程中灰化去除的牺牲材料的方法，实现超厚顶层金属双大马士革制造工艺，本发明具有有利于工艺控制，减少工艺步骤，缩短生产周期的技术效果。