法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/205 申请公布日:20111207 申请日:20100128
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20100128
实质审查的生效
2011-12-07
公开
公开
机译: 具有具有多个气体流路的喷淋板的气相生长装置以及使用该气相生长装置的气相生长方法
机译: 喷淋式气相生长装置和气相生长方法
机译: 精细气相生长碳纤维制造设备,精细气相生长碳纤维的制造方法,精细气相生长碳纤维防粘装置和精细气相生长碳纤维